Fabricación y caracterización de nanoporos ordenados de Al2O3 obtenidos por anodización electroquímica del aluminio

Abstract

Se estudiaron las características morfológicas de estructuras porosas ordenadas fabricadas sobre láminas de aluminio. Las estructuras se obtuvieron por ataque electroquímico utilizando un electrolito de carácter ácido. El diámetro de los poros generados varió entre 40 y 80 nm, con un espaciamiento en el rango de 85 a 115 nm. Las distribuciones de distancias y tamaños fueron obtenidas con mediciones de microscopía de fuerza atómica y microscopía electrónica de barrido. Se encontró una fuerte dependencia del diámetro de poro con el voltaje aplicado, la cual fue contrastada con resultados de otros autores. Se estudió la aplicación de esta metodología de fabricación de la estructura porosa para el caso de usar películas delgadas de aluminio.