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dc.contributor.author
Suarez, Maria Patricia  
dc.contributor.author
Mirabella, D. A.  
dc.contributor.author
Aldao, Celso Manuel  
dc.date.available
2019-01-14T14:23:45Z  
dc.date.issued
2008-02-19  
dc.identifier.citation
Suarez, Maria Patricia; Mirabella, D. A.; Aldao, Celso Manuel; Dynamics of hillocks formation during wet etching; Elsevier Science; Journal of Molecular Catalysis A: Chemical; 281; 1-2; 19-2-2008; 230-236  
dc.identifier.issn
1381-1169  
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/67970  
dc.description.abstract
Etch hillocks formation was studied experimentally and modeled using the Monte Carlo method. Simulations were used to explore the consequences of site-dependent detachment probabilities on surface morphology for a one- and two-dimensional substrate models. Comparison with pyramidal etch hillocks that are regularly observed in anisotropic etching of Si(1 0 0) are presented. The steady-state morphologies are analyzed and the hillock size distributions determined. The mechanisms responsible for the steady-state morphologies are described.  
dc.format
application/pdf  
dc.language.iso
eng  
dc.publisher
Elsevier Science  
dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess  
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/ar/  
dc.subject
Etching  
dc.subject
Monte Carlo Simulations  
dc.subject
Roughness And Topography  
dc.subject
Scanning Electron Microscopy  
dc.subject.classification
Físico-Química, Ciencia de los Polímeros, Electroquímica  
dc.subject.classification
Ciencias Químicas  
dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS  
dc.subject.classification
Otras Ciencias Físicas  
dc.subject.classification
Ciencias Físicas  
dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS  
dc.title
Dynamics of hillocks formation during wet etching  
dc.type
info:eu-repo/semantics/article  
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo  
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion  
dc.date.updated
2019-01-09T14:39:46Z  
dc.journal.volume
281  
dc.journal.number
1-2  
dc.journal.pagination
230-236  
dc.journal.pais
Países Bajos  
dc.journal.ciudad
Amsterdam  
dc.description.fil
Fil: Suarez, Maria Patricia. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina  
dc.description.fil
Fil: Mirabella, D. A.. Universidad Nacional de Mar del Plata; Argentina  
dc.description.fil
Fil: Aldao, Celso Manuel. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina  
dc.journal.title
Journal of Molecular Catalysis A: Chemical  
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1381116907004918?via%3Dihub  
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1016/j.molcata.2007.08.012  

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Tamaño: 882.0Kb
Formato: PDF
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