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AlN thin films deposited by DC reactive magnetron sputtering: effect of oxygen on film growth 271 59

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7 14 10

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China 22
Argentina 12
Alemania 9
Suiza 7
Francia 5
Brasil 3
Canadá 2
España 2
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San Ramon 9
Falls Church 8
Columbus 5
Fairfield 5
Shenyang 5
Louisville 4
Buenos Aires 3
Changsha 3
Rio De Janeiro 3
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*Sin datos: En origen no se informa País o Ciudad.