Mostrar el registro sencillo del ítem

dc.contributor.author
Mirabella, D. A.
dc.contributor.author
Suarez, Maria Patricia
dc.contributor.author
Aldao, Celso Manuel
dc.date.available
2018-01-30T16:54:30Z
dc.date.issued
2009-09
dc.identifier.citation
Mirabella, D. A.; Suarez, Maria Patricia; Aldao, Celso Manuel; Hillock sizes after wet etching in silicon; Elsevier Science; Surface Science; 603; 23; 9-2009; 3346-3349
dc.identifier.issn
0039-6028
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/35014
dc.description.abstract
The formation of two- and three-dimensional hillocks is regularly observed in Si(1 1 1) steps and Si(1 0 0) during wet etching. Frequently the resulting morphology consists of hillocks scattered on a landscape of limited roughness. Recently we proposed a mean field model (MFM) in which the observed hillock-and-valley pattern is possible under steady state if hillock etching is slightly faster than valley etching. This condition implies that hillock size distributions must be an exponential decreasing function. In this work, we report a systematic study of hillock size distributions of experimental morphologies obtained under different etchant concentrations in Si(1 0 0). We found that experimental hillock size distributions are in agreement with those predicted by the MFM.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
eng
dc.publisher
Elsevier Science
dc.rights
info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject
Monte Carlo Simulations
dc.subject
Etching
dc.subject
Surface Structure
dc.subject
Morphology
dc.subject
Roughness And Topography
dc.subject.classification
Otras Ciencias Químicas
dc.subject.classification
Ciencias Químicas
dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
dc.title
Hillock sizes after wet etching in silicon
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2018-01-25T19:54:11Z
dc.journal.volume
603
dc.journal.number
23
dc.journal.pagination
3346-3349
dc.journal.pais
Países Bajos
dc.journal.ciudad
Amsterdam
dc.description.fil
Fil: Mirabella, D. A.. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.description.fil
Fil: Suarez, Maria Patricia. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.description.fil
Fil: Aldao, Celso Manuel. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.journal.title
Surface Science
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1016/j.susc.2009.09.022
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0039602809006190


Archivos asociados

Documento no disponible

Comunidades y colecciones

  • Articulos(INTEMA) [1281]
    Articulos de INST.DE INV.EN CIENCIA Y TECNOL.MATERIALES (I)

Mostrar el registro sencillo del ítem