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dc.contributor.author Mirabella, D. A.
dc.contributor.author Suarez, Maria Patricia
dc.contributor.author Aldao, Celso Manuel
dc.date.available 2018-01-30T16:54:30Z
dc.date.issued 2009-09
dc.identifier.citation Mirabella, D. A.; Suarez, Maria Patricia; Aldao, Celso Manuel; Hillock sizes after wet etching in silicon; Elsevier Science; Surface Science; 603; 23; 9-2009; 3346-3349
dc.identifier.issn 0039-6028
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/11336/35014
dc.description.abstract The formation of two- and three-dimensional hillocks is regularly observed in Si(1 1 1) steps and Si(1 0 0) during wet etching. Frequently the resulting morphology consists of hillocks scattered on a landscape of limited roughness. Recently we proposed a mean field model (MFM) in which the observed hillock-and-valley pattern is possible under steady state if hillock etching is slightly faster than valley etching. This condition implies that hillock size distributions must be an exponential decreasing function. In this work, we report a systematic study of hillock size distributions of experimental morphologies obtained under different etchant concentrations in Si(1 0 0). We found that experimental hillock size distributions are in agreement with those predicted by the MFM.
dc.format application/pdf
dc.language.iso eng
dc.publisher Elsevier Science
dc.rights info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
dc.rights.uri https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject Monte Carlo simulations
dc.subject Etching
dc.subject Surface structure
dc.subject Morphology
dc.subject Roughness and topography
dc.subject.classification Otras Ciencias Químicas
dc.subject.classification Ciencias Químicas
dc.subject.classification CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
dc.title Hillock sizes after wet etching in silicon
dc.type info:eu-repo/semantics/article
dc.type info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated 2018-01-25T19:54:11Z
dc.journal.volume 603
dc.journal.number 23
dc.journal.pagination 3346-3349
dc.journal.pais Países Bajos
dc.journal.ciudad Amsterdam
dc.description.fil Fil: Mirabella, D. A.. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.description.fil Fil: Suarez, Maria Patricia. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.description.fil Fil: Aldao, Celso Manuel. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.journal.title Surface Science
dc.relation.alternativeid info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1016/j.susc.2009.09.022
dc.relation.alternativeid info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0039602809006190
dc.conicet.fuente unificacion


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