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Design of a phase-shifting interferometer in the extreme ultraviolet for high-precision metrology 119 198

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Estados Unidos 27
Holanda 24
Alemania 9
Argentina 8
China 5
Suiza 3
España 1
Francia 1
Rusia 1
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Ashburn 6
San Ramon 6
Columbus 4
Lanus 3
Buenos Aires 2
Hangzhou 2
Woodbridge 2
Ann Arbor 1
Boydton 1
Chengdu 1
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*Sin datos: En origen no se informa País o Ciudad.