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dc.contributor.author
Rava, David Sebastian
dc.contributor.author
Ferrero, Hugo Eduardo
dc.contributor.author
Fidalgo, Luis Enrique
dc.contributor.author
Agüero, Mónica Beatriz
dc.contributor.author
Hnilo, Alejandro Andrés
dc.contributor.author
Kovalsky, Marcelo Gregorio
dc.date.available
2017-12-11T16:55:08Z
dc.date.issued
2014-09
dc.identifier.citation
Rava, David Sebastian; Ferrero, Hugo Eduardo; Fidalgo, Luis Enrique; Agüero, Mónica Beatriz; Hnilo, Alejandro Andrés; et al.; Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos. Comparación de resultados; Asociación Física Argentina; Anales AFA; 25; 2; 9-2014; 91-95
dc.identifier.issn
0327-358X
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/30148
dc.description.abstract
En este trabajo se presentan los resultados de la comparación del micromaquinado láser de obleas de silicio empleando la técnica de escritura directa (direct writing) con pulsos de nanosegundos generados por la técnica de Q-switch en Nd:YAG y pulsos de femtosegundos, provenientes del Ti:Zafiro mode lockeado. Se determinaron los efectos de la redeposición de escombros (debris) y se proponen técnicas para su control.
dc.description.abstract
In this paper we present the comparison of direct writing silicon wafer using Q-switched pulses from a Nd:YAG laser and mode locking pulses from a Ti:Sapphire laser. We describe the debris effect in both cases and propose several techniques in order to minimize the effect.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
spa
dc.publisher
Asociación Física Argentina
dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc/2.5/ar/
dc.subject
Micromaquinado Láser
dc.subject
Obleas de Silicio
dc.subject
Laser de Nd:Yag
dc.subject.classification
Astronomía
dc.subject.classification
Ciencias Físicas
dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
dc.title
Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos. Comparación de resultados
dc.title
Nano and femtosecond solid state laser micromachining: comparison of results
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2017-12-04T19:08:49Z
dc.identifier.eissn
1850-1168
dc.journal.volume
25
dc.journal.number
2
dc.journal.pagination
91-95
dc.journal.pais
Argentina
dc.journal.ciudad
Tandil
dc.description.fil
Fil: Rava, David Sebastian. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Departamento de Física; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
dc.description.fil
Fil: Ferrero, Hugo Eduardo. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Departamento de Física; Argentina
dc.description.fil
Fil: Fidalgo, Luis Enrique. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina
dc.description.fil
Fil: Agüero, Mónica Beatriz. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina
dc.description.fil
Fil: Hnilo, Alejandro Andrés. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina
dc.description.fil
Fil: Kovalsky, Marcelo Gregorio. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina
dc.journal.title
Anales AFA
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/http://anales.fisica.org.ar/journal/index.php/analesafa/article/view/1960
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Tamaño:
1.354Mb
Formato:
PDF