Mostrar el registro sencillo del ítem
dc.contributor.author
Suárez, M. P.
dc.contributor.author
Mirabella, Maria Cristina
dc.contributor.author
Aldao, Celso Manuel
dc.date.available
2017-11-13T18:38:14Z
dc.date.issued
2005-11-10
dc.identifier.citation
Suárez, M. P.; Mirabella, Maria Cristina; Aldao, Celso Manuel; Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal; Elsevier Science; Surface Science; 599; 1-3; 10-11-2005; 221-229
dc.identifier.issn
0039-6028
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/28057
dc.description.abstract
Surface roughening due to anisotropic etching was studied experimentally and modeled using the Monte Carlo method for a Kossel crystal. Simulations were used to explore a possible formation mechanism for the appearance of etch hillocks in two and three dimensions. Similarities with pyramidal etch hillocks that are regularly observed in anisotropic etching of Si(100) are discussed.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
eng
dc.publisher
Elsevier Science
dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject
Monte Carlo Simulations
dc.subject
Scanning Electron Microscopy
dc.subject
Etching
dc.subject
Surface Structure
dc.subject
Morphology
dc.subject
Roughness And Topography
dc.subject
Silicon
dc.subject
Koh
dc.title
Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2017-11-03T19:56:50Z
dc.journal.volume
599
dc.journal.number
1-3
dc.journal.pagination
221-229
dc.journal.pais
Países Bajos
dc.journal.ciudad
Amsterdam
dc.description.fil
Fil: Suárez, M. P.. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.description.fil
Fil: Mirabella, Maria Cristina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.description.fil
Fil: Aldao, Celso Manuel. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.journal.title
Surface Science
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1016/j.susc.2005.10.011
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0039602805011337
Archivos asociados
Tamaño:
411.0Kb
Formato:
PDF