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dc.contributor.author
Dussan, A.
dc.contributor.author
Koropecki, Roberto Roman
dc.date.available
2017-08-17T21:34:35Z
dc.date.issued
2007-12
dc.identifier.citation
Dussan, A.; Koropecki, Roberto Roman; Propiedades estructurales y morfológicas de películas delgadas de uc-Si:H; Sociedad Colombiana de Física; Revista Colombiana de Física; 39; 1; 12-2007; 281-284
dc.identifier.issn
0120-2650
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/22655
dc.description.abstract
Una serie de películas delgadas de silicio microcristalino dopadas con Boro (µc-Si:H (B)) fueron depositadas por el método de deposición química en fase de vapor asistida por plasma (PECVD). Las muestras fueron dopas con Boro. La microestructura y morfología de las muestras fue analizada por microscopía de fuerza atómica (AFM), difracción de rayos X y espectroscopía Raman. Se observó un incremento tanto en la fracción de volumen cristalina como en el tamaño de grano a medida que se incrementó la concentración de Boro en las muestras. Las películas de silicio microcristalino dopadas con Boro presentaron una orientación cristalográfica preferencial en el plano (220).
dc.description.abstract
A series of films boron doped microcrystalline silicon (µc-Si:H (B)) was deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). The samples were Boron doped. The microstructure and morphology of samples were analyzed by atomic force microscopy (AFM), X-ray diffraction (XRD), and Raman spectroscopy. Trends of increasing crystalline volume fraction and grain size were observed with increasing boron concentration in the samples. The doped microcrystalline silicon films showed a preferential crystallographic orientation in the plane (220).
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
spa
dc.publisher
Sociedad Colombiana de Física
dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject
Silicio Microcristalino
dc.subject
Película Delgada
dc.subject.classification
Otras Ciencias Físicas
dc.subject.classification
Ciencias Físicas
dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
dc.title
Propiedades estructurales y morfológicas de películas delgadas de uc-Si:H
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2017-08-04T15:49:42Z
dc.journal.volume
39
dc.journal.number
1
dc.journal.pagination
281-284
dc.journal.pais
Colombia
dc.journal.ciudad
Barranquilla
dc.description.fil
Fil: Dussan, A.. Universidad Nacional de Colombia; Colombia
dc.description.fil
Fil: Koropecki, Roberto Roman. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.journal.title
Revista Colombiana de Física
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