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dc.contributor.author
Villegas Gomez, Edgar Arbey
dc.contributor.author
Parra, Rodrigo
dc.contributor.author
Ramajo, Leandro Alfredo
dc.date.available
2019-10-15T19:14:49Z
dc.date.issued
2018-08
dc.identifier.citation
Villegas Gomez, Edgar Arbey; Parra, Rodrigo; Ramajo, Leandro Alfredo; Métodos de medición de espesores de películas delgadas basadas en óxidos semiconductores; Sociedad Mexicana de Física; Revista Mexicana de Física; 64; 4; 8-2018; 364-367
dc.identifier.issn
0035-001X
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/85951
dc.description.abstract
Las películas transparentes basadas en éxidos de Ti, Sn y Zn tienen gran importancia en dispositivos electrónicos tales como sensores, celdas solares y películas conductoras haciendo que las técnicas de caracterización sean altamente relevantes. Este trabajo tiene como objetivo identificar las ventajas y desventajas de los métodos directos, tales como perfilometría e indirectos, elipsometría y espectrofotometría, para cuantificar espesores de películas delgadas de óxidos de Ti, Sn y Zn. Las películas se depositaron por spray-pyrolysis sobre sustratos de vidrio a 425◦C. En todos los casos, los espesores obtenidos variaron entre 150 y 300 nm, con una diferencia inferior al 10 % y 20 % entre las técnicas espectrofotometría y elipsometría, respectivamente, con respecto al valor obtenido mediante perfilometría.
dc.description.abstract
Transparent films based on Ti, Sn and Zn oxides are of great importance in electronic devices such as sensors, solar cells and conductive films, then the characterization techniques are highly relevant. The aim of this work is to identify the advantages and disadvantages of direct methods, such as profilometry, and indirect methods such as ellipsometry and spectrophotometry used to quantify film thickness. In this work, films were deposited by spray-pyrolysis on glass substrates at 425◦C. Thicknesses varied between 150 and 300 nm. Thicknesses calculated by means of spectrophotometry and ellipsometry, led to differences below 10 % and 20 %, respectively, with respect to the value measured by profilometry.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
spa
dc.publisher
Sociedad Mexicana de Física
dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject
Peliculas Delgadas
dc.subject
Medidas de Espesor
dc.subject
Tio2
dc.subject
Sno2
dc.subject
Zno
dc.subject
Thin films
dc.subject
Thickness measurement
dc.subject.classification
Física de los Materiales Condensados
dc.subject.classification
Ciencias Físicas
dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
dc.subject.classification
Recubrimientos y Películas
dc.subject.classification
Ingeniería de los Materiales
dc.subject.classification
INGENIERÍAS Y TECNOLOGÍAS
dc.title
Métodos de medición de espesores de películas delgadas basadas en óxidos semiconductores
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2019-08-01T20:25:36Z
dc.journal.volume
64
dc.journal.number
4
dc.journal.pagination
364-367
dc.journal.pais
México
dc.description.fil
Fil: Villegas Gomez, Edgar Arbey. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.description.fil
Fil: Parra, Rodrigo. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.description.fil
Fil: Ramajo, Leandro Alfredo. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.journal.title
Revista Mexicana de Física
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://rmf.smf.mx/ojs/rmf/article/view/297
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/http://ref.scielo.org/wd7b98
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.31349/RevMexFis.64.364
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