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dc.contributor.author
Mirabella, D. A.
dc.contributor.author
Suarez, Maria Patricia
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dc.contributor.author
Aldao, Celso Manuel
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dc.date.available
2019-02-01T20:48:58Z
dc.date.issued
2008-03
dc.identifier.citation
Mirabella, D. A.; Suarez, Maria Patricia; Aldao, Celso Manuel; Basic mechanisms for hillock formation during etching; Elsevier Science; Physica A: Statistical Mechanics and its Applications; 387; 8-9; 3-2008; 1957-1962
dc.identifier.issn
0378-4371
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/69245
dc.description.abstract
The formation of etch hillocks was explored in the framework of a site-dependent detachment probabilities model. Monte Carlo simulations were carried out for a one-dimensional substrate within a restricted solid-on-solid model in which only first neighbour interactions are considered. We specifically focus on describing the dynamics that lead to hillock-and-valley patterns. The mechanisms responsible for the steady state morphologies were related to apex creation and annihilation, together with valley and hillock etching, but pattern formation reflects two feedback loops that interrelate these mechanisms.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
eng
dc.publisher
Elsevier Science
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dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/ar/
dc.subject
Etching
dc.subject
Patterning
dc.subject
Solid Surfaces
dc.subject
Structure And Morphology
dc.subject.classification
Físico-Química, Ciencia de los Polímeros, Electroquímica
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dc.subject.classification
Ciencias Químicas
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dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
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dc.subject.classification
Física de los Materiales Condensados
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dc.subject.classification
Ciencias Físicas
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dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
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dc.title
Basic mechanisms for hillock formation during etching
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2019-01-14T16:30:20Z
dc.journal.volume
387
dc.journal.number
8-9
dc.journal.pagination
1957-1962
dc.journal.pais
Países Bajos
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dc.journal.ciudad
Amsterdam
dc.description.fil
Fil: Mirabella, D. A.. Universidad Nacional de Mar del Plata; Argentina
dc.description.fil
Fil: Suarez, Maria Patricia. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.description.fil
Fil: Aldao, Celso Manuel. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.journal.title
Physica A: Statistical Mechanics and its Applications
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dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0378437107012290
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1016/j.physa.2007.11.028
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