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dc.contributor.author Gallego Cano, Jorge Luis
dc.contributor.author Ramirez Vinasco, Deisy
dc.contributor.author Riascos Landázuri, Henry
dc.contributor.author Ipaz, Leonid
dc.contributor.author Saldaña, Juan Muñoz
dc.date.available 2018-10-02T15:00:19Z
dc.date.issued 2011-06
dc.identifier.citation Gallego Cano, Jorge Luis; Ramirez Vinasco, Deisy; Riascos Landázuri, Henry; Ipaz, Leonid; Saldaña, Juan Muñoz; Películas delgadas de CNx formadas por PLD a diferentes temperaturas; Universidad del Norte; Ingeniería y Desarrollo; 29; 1; 6-2011; 50-60
dc.identifier.issn 0122-3461
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/11336/61492
dc.description.abstract Películas delgadas de nitruro de carbono (CNx) fueron formadas por la técnica de depósito por láser pulsado (PLD, siglas en inglés). Para la ablación incidió sobre la superficie del blanco de grafito pirolítico (99.999% de pureza) un láser Nd:YAG (1064 nm, 500 mJ), cuya fluencia del haz se mantuvo a un valor de 10 J cm-2. Las películas se formaron sobre sustratos de Si (100) y en una atmósfera de nitrógeno, y a tres valores diferentes de temperatura del sustrato (21, 50 y 200° C). Durante el crecimiento de estas películas se mantuvo la presión del gas ambiente constante (2,66 Pa). También se analizaron las propiedades mecánicas y químicas de las películas mediante microscopia de fuerza atómica (AFM, por sus siglas en inglés), espectroscopia infrarroja (FTIR), energía dispersiva de rayos X (EDX) y nanoindentación. El análisis de FTIR revela la presencia de modos activos alrededor de 1108 cm-1, 1465 cm-1, 2270 cm-1, asociados a enlaces simples, dobles y triples de CN, respectivamente. Por medio de EDX, se estudió la composición química de las muestras, encontrándose bajos contenidos de nitrógeno, con una variación entre el 3 y 6 %at. Las propiedades mecánicas fueron evaluadas mediante la técnica de nanoindentación. La mayor dureza de las muestras fue de 14 GPa, obtenida para la muestra formada a una temperatura del sustrato de 200ºC.
dc.format application/pdf
dc.language.iso spa
dc.publisher Universidad del Norte
dc.rights info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject Nitruro de Carbono
dc.subject depósito por láser pulsado
dc.subject nanoindentación
dc.subject.classification Astronomía
dc.subject.classification Ciencias Físicas
dc.subject.classification CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
dc.title Películas delgadas de CNx formadas por PLD a diferentes temperaturas
dc.type info:eu-repo/semantics/article
dc.type info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated 2018-10-01T15:54:13Z
dc.journal.volume 29
dc.journal.number 1
dc.journal.pagination 50-60
dc.journal.pais Colombia
dc.journal.ciudad Medellin
dc.description.fil Fil: Gallego Cano, Jorge Luis. Universidad Tecnológica de Pereira; Colombia. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Instituto de Física del Plasma. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Instituto de Física del Plasma; Argentina
dc.description.fil Fil: Ramirez Vinasco, Deisy. Universidad Tecnológica de Pereira; Colombia
dc.description.fil Fil: Riascos Landázuri, Henry. Universidad Tecnológica de Pereira; Colombia
dc.description.fil Fil: Ipaz, Leonid. Universidad del Valle; Colombia
dc.description.fil Fil: Saldaña, Juan Muñoz. Instituto Politécnico Nacional; México
dc.journal.title Ingeniería y Desarrollo
dc.relation.alternativeid info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=85222642005
dc.conicet.fuente individual


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