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dc.contributor.author
Rodriguez, Daniel Fabian
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dc.contributor.author
Perillo, Patricia María
dc.contributor.author
Barrera, Marcela Patricia
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dc.date.available
2018-04-09T19:25:05Z
dc.date.issued
2017-11
dc.identifier.citation
Rodriguez, Daniel Fabian; Perillo, Patricia María; Barrera, Marcela Patricia; High performance TiO2 nanotubes antireflection coating; Elsevier; Materials Science In Semiconductor Processing; 71; 11-2017; 427-432
dc.identifier.issn
1369-8001
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/41401
dc.description.abstract
The present study analyzes the use of TiO2 layer as antireflection coating. TiO2 thin films were prepared on silicon substrate by electrochemical anodization process with thicknesses of 130 and 170 nm. The films exhibit a uniform nanotubular structure. The ellipsometry measurement data were analyzed using a multi-layer model, the bottom layer is a dense layer of TiO2 and the top layers are porous; they are formed by a mixture of TiO2 and void. The values of refractive index are obtained by the Bruggeman effective medium approximation. The refractive indexes of the bottom and top TiO2 sublayers were about 2.3 and 1.6, respectively. The lower values of reflectance are obtained with the thinnest film. For these samples the reflectance decreases about 90% compared to silicon and in some cases the reflectivity is less than 5%. The thickness influences of TiO2 thin films and their synthesis parameters on the optical constants are discussed.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
eng
dc.publisher
Elsevier
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dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject
Antireflection
dc.subject
Nanotubes
dc.subject
Spectroscopic Ellipsometry
dc.subject
Tio2
dc.subject.classification
Otras Ingeniería Eléctrica, Ingeniería Electrónica e Ingeniería de la Información
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dc.subject.classification
Ingeniería Eléctrica, Ingeniería Electrónica e Ingeniería de la Información
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dc.subject.classification
INGENIERÍAS Y TECNOLOGÍAS
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dc.title
High performance TiO2 nanotubes antireflection coating
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2018-04-09T15:04:25Z
dc.journal.volume
71
dc.journal.pagination
427-432
dc.journal.pais
Países Bajos
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dc.journal.ciudad
Amsterdam
dc.description.fil
Fil: Rodriguez, Daniel Fabian. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia de Área de Investigación y Aplicaciones no Nucleares. Gerencia de Desarrollo Tecnológico y Proyectos Especiales. Departamento de Micro y Nanotecnología; Argentina
dc.description.fil
Fil: Perillo, Patricia María. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia de Área de Investigación y Aplicaciones no Nucleares. Gerencia de Desarrollo Tecnológico y Proyectos Especiales. Departamento de Micro y Nanotecnología; Argentina
dc.description.fil
Fil: Barrera, Marcela Patricia. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Constituyentes; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
dc.journal.title
Materials Science In Semiconductor Processing
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dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2017.08.037
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1369800117318371
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