Mostrar el registro sencillo del ítem

dc.contributor.author
Perez, Maximiliano Sebastian  
dc.contributor.author
Lerner, Betiana  
dc.contributor.author
Resasco, Daniel E.  
dc.contributor.author
Pareja Obregón, Pablo Daniel  
dc.contributor.author
Julian, Pedro Marcelo  
dc.contributor.author
Mandolesi, Pablo Sergio  
dc.contributor.author
Buffa, Fabián Alejandro  
dc.contributor.author
Boselli, Alfredo  
dc.contributor.author
Lamagna, Alberto  
dc.date.available
2025-02-14T15:38:31Z  
dc.date.issued
2010-04  
dc.identifier.citation
Perez, Maximiliano Sebastian; Lerner, Betiana; Resasco, Daniel E.; Pareja Obregón, Pablo Daniel; Julian, Pedro Marcelo; et al.; Carbon Nanotube Integration with a CMOS Process; Molecular Diversity Preservation International; Sensors; 10; 4; 4-2010; 3857-3867  
dc.identifier.issn
1424-8220  
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/254506  
dc.description.abstract
This work shows the integration of a sensor based on carbon nanotubes using CMOS technology. A chip sensor (CS) was designed and manufactured using a 0.30 μm CMOS process, leaving a free window on the passivation layer that allowed the deposition of SWCNTs over the electrodes. We successfully investigated with the CS the effect of humidity and temperature on the electrical transport properties of SWCNTs. The possibility of a large scale integration of SWCNTs with CMOS process opens a new route in the design of more efficient, low cost sensors with high reproducibility in their manufacture.  
dc.format
application/pdf  
dc.language.iso
eng  
dc.publisher
Molecular Diversity Preservation International  
dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess  
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by/2.5/ar/  
dc.subject
CARBON NANOTUBE SENSOR  
dc.subject
CMOS INTEGRATION  
dc.subject
MICROCHIP SENSOR  
dc.subject
SWCNT  
dc.subject.classification
Otras Nanotecnología  
dc.subject.classification
Nanotecnología  
dc.subject.classification
INGENIERÍAS Y TECNOLOGÍAS  
dc.title
Carbon Nanotube Integration with a CMOS Process  
dc.type
info:eu-repo/semantics/article  
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo  
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion  
dc.date.updated
2024-11-11T14:30:40Z  
dc.journal.volume
10  
dc.journal.number
4  
dc.journal.pagination
3857-3867  
dc.journal.pais
Suiza  
dc.journal.ciudad
Basilea  
dc.description.fil
Fil: Perez, Maximiliano Sebastian. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina. Comisión Nacional de Energía Atómica; Argentina  
dc.description.fil
Fil: Lerner, Betiana. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia de Área de Investigación y Aplicaciones no Nucleares. Gerencia de Desarrollo Tecnológico y Proyectos Especiales. Departamento de Micro y Nanotecnología; Argentina  
dc.description.fil
Fil: Resasco, Daniel E.. University of Oklahoma; Estados Unidos  
dc.description.fil
Fil: Pareja Obregón, Pablo Daniel. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Bahía Blanca. Instituto de Investigaciones en Ingeniería Eléctrica "Alfredo Desages". Universidad Nacional del Sur. Departamento de Ingeniería Eléctrica y de Computadoras. Instituto de Investigaciones en Ingeniería Eléctrica "Alfredo Desages"; Argentina  
dc.description.fil
Fil: Julian, Pedro Marcelo. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Bahía Blanca. Instituto de Investigaciones en Ingeniería Eléctrica "Alfredo Desages". Universidad Nacional del Sur. Departamento de Ingeniería Eléctrica y de Computadoras. Instituto de Investigaciones en Ingeniería Eléctrica "Alfredo Desages"; Argentina  
dc.description.fil
Fil: Mandolesi, Pablo Sergio. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Bahía Blanca. Instituto de Investigaciones en Ingeniería Eléctrica "Alfredo Desages". Universidad Nacional del Sur. Departamento de Ingeniería Eléctrica y de Computadoras. Instituto de Investigaciones en Ingeniería Eléctrica "Alfredo Desages"; Argentina  
dc.description.fil
Fil: Buffa, Fabián Alejandro. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina  
dc.description.fil
Fil: Boselli, Alfredo. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia de Área de Investigación y Aplicaciones no Nucleares. Gerencia de Desarrollo Tecnológico y Proyectos Especiales. Departamento de Micro y Nanotecnología; Argentina  
dc.description.fil
Fil: Lamagna, Alberto. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia de Área de Investigación y Aplicaciones no Nucleares. Gerencia de Desarrollo Tecnológico y Proyectos Especiales. Departamento de Micro y Nanotecnología; Argentina  
dc.journal.title
Sensors  
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://www.mdpi.com/1424-8220/10/4/3857  
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.3390/s100403857