Mostrar el registro sencillo del ítem
dc.contributor.author
Perez, Maximiliano Sebastian

dc.contributor.author
Lerner, Betiana

dc.contributor.author
Resasco, Daniel E.
dc.contributor.author
Pareja Obregón, Pablo Daniel

dc.contributor.author
Julian, Pedro Marcelo

dc.contributor.author
Mandolesi, Pablo Sergio

dc.contributor.author
Buffa, Fabián Alejandro

dc.contributor.author
Boselli, Alfredo

dc.contributor.author
Lamagna, Alberto

dc.date.available
2025-02-14T15:38:31Z
dc.date.issued
2010-04
dc.identifier.citation
Perez, Maximiliano Sebastian; Lerner, Betiana; Resasco, Daniel E.; Pareja Obregón, Pablo Daniel; Julian, Pedro Marcelo; et al.; Carbon Nanotube Integration with a CMOS Process; Molecular Diversity Preservation International; Sensors; 10; 4; 4-2010; 3857-3867
dc.identifier.issn
1424-8220
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/254506
dc.description.abstract
This work shows the integration of a sensor based on carbon nanotubes using CMOS technology. A chip sensor (CS) was designed and manufactured using a 0.30 μm CMOS process, leaving a free window on the passivation layer that allowed the deposition of SWCNTs over the electrodes. We successfully investigated with the CS the effect of humidity and temperature on the electrical transport properties of SWCNTs. The possibility of a large scale integration of SWCNTs with CMOS process opens a new route in the design of more efficient, low cost sensors with high reproducibility in their manufacture.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
eng
dc.publisher
Molecular Diversity Preservation International

dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by/2.5/ar/
dc.subject
CARBON NANOTUBE SENSOR
dc.subject
CMOS INTEGRATION
dc.subject
MICROCHIP SENSOR
dc.subject
SWCNT
dc.subject.classification
Otras Nanotecnología

dc.subject.classification
Nanotecnología

dc.subject.classification
INGENIERÍAS Y TECNOLOGÍAS

dc.title
Carbon Nanotube Integration with a CMOS Process
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2024-11-11T14:30:40Z
dc.journal.volume
10
dc.journal.number
4
dc.journal.pagination
3857-3867
dc.journal.pais
Suiza

dc.journal.ciudad
Basilea
dc.description.fil
Fil: Perez, Maximiliano Sebastian. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina. Comisión Nacional de Energía Atómica; Argentina
dc.description.fil
Fil: Lerner, Betiana. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia de Área de Investigación y Aplicaciones no Nucleares. Gerencia de Desarrollo Tecnológico y Proyectos Especiales. Departamento de Micro y Nanotecnología; Argentina
dc.description.fil
Fil: Resasco, Daniel E.. University of Oklahoma; Estados Unidos
dc.description.fil
Fil: Pareja Obregón, Pablo Daniel. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Bahía Blanca. Instituto de Investigaciones en Ingeniería Eléctrica "Alfredo Desages". Universidad Nacional del Sur. Departamento de Ingeniería Eléctrica y de Computadoras. Instituto de Investigaciones en Ingeniería Eléctrica "Alfredo Desages"; Argentina
dc.description.fil
Fil: Julian, Pedro Marcelo. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Bahía Blanca. Instituto de Investigaciones en Ingeniería Eléctrica "Alfredo Desages". Universidad Nacional del Sur. Departamento de Ingeniería Eléctrica y de Computadoras. Instituto de Investigaciones en Ingeniería Eléctrica "Alfredo Desages"; Argentina
dc.description.fil
Fil: Mandolesi, Pablo Sergio. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Bahía Blanca. Instituto de Investigaciones en Ingeniería Eléctrica "Alfredo Desages". Universidad Nacional del Sur. Departamento de Ingeniería Eléctrica y de Computadoras. Instituto de Investigaciones en Ingeniería Eléctrica "Alfredo Desages"; Argentina
dc.description.fil
Fil: Buffa, Fabián Alejandro. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.description.fil
Fil: Boselli, Alfredo. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia de Área de Investigación y Aplicaciones no Nucleares. Gerencia de Desarrollo Tecnológico y Proyectos Especiales. Departamento de Micro y Nanotecnología; Argentina
dc.description.fil
Fil: Lamagna, Alberto. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia de Área de Investigación y Aplicaciones no Nucleares. Gerencia de Desarrollo Tecnológico y Proyectos Especiales. Departamento de Micro y Nanotecnología; Argentina
dc.journal.title
Sensors

dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://www.mdpi.com/1424-8220/10/4/3857
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.3390/s100403857
Archivos asociados