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dc.contributor.author
Budini, Nicolas
dc.contributor.author
Rinaldi, Pablo Andres
dc.contributor.author
Schmidt, Javier Alejandro
dc.contributor.author
Arce, Roberto Delio
dc.contributor.author
Buitrago, Roman Horacio
dc.date.available
2017-09-29T17:34:42Z
dc.date.issued
2010-07
dc.identifier.citation
Budini, Nicolas; Rinaldi, Pablo Andres; Schmidt, Javier Alejandro; Arce, Roberto Delio; Buitrago, Roman Horacio; Influence of microstructure and hydrogen concentration on amorphous silicon crystallization; Elsevier Science Sa; Thin Solid Films; 518; 18; 7-2010; 5349-5354
dc.identifier.issn
0040-6090
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/25442
dc.description.abstract
Hydrogenated amorphous silicon samples were deposited on glass substrates at different temperatures by high 20 frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition. In this way, samples with different hydrogen 21 concentrations and structures were obtained. The transition from an amorphous to a crystalline material, 22 induced by a four-step thermal annealing sequence, has been followed. Effusion of hydrogen fromthe films plays 23 an important role in the nucleation and growth mechanisms of crystalline silicon grains. Measurements of 24 hydrogen concentrations, Raman scattering, X-ray diffraction and UV reflectance showed that an enhanced 25 crystallizationwas obtained on samples deposited at lower substrate temperatures. A correlation between these 26 measurements allowsto analyze the evolution of structuralproperties of the samples. The presence of voids in the 27 material, related to disorder in the amorphous matrix, results in a better quality of the resulting nanocrystalline 28 silicon thin films.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
eng
dc.publisher
Elsevier Science Sa
dc.rights
info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject
Polycrystalline Silicon
dc.subject
Hydrogenated Amorphous Silicon
dc.subject
Solid Phase Crystallization
dc.subject.classification
Otras Ciencias Físicas
dc.subject.classification
Ciencias Físicas
dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
dc.title
Influence of microstructure and hydrogen concentration on amorphous silicon crystallization
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2017-09-25T18:23:58Z
dc.journal.volume
518
dc.journal.number
18
dc.journal.pagination
5349-5354
dc.journal.pais
Países Bajos
dc.journal.ciudad
Amsterdam
dc.description.fil
Fil: Budini, Nicolas. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.description.fil
Fil: Rinaldi, Pablo Andres. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.description.fil
Fil: Schmidt, Javier Alejandro. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.description.fil
Fil: Arce, Roberto Delio. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.description.fil
Fil: Buitrago, Roman Horacio. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.journal.title
Thin Solid Films
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2010.04.029
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609010005523


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