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dc.contributor.author Budini, Nicolas
dc.contributor.author Rinaldi, Pablo Andres
dc.contributor.author Schmidt, Javier Alejandro
dc.contributor.author Arce, Roberto Delio
dc.contributor.author Buitrago, Roman Horacio
dc.date.available 2017-09-29T17:34:42Z
dc.date.issued 2010-07
dc.identifier.citation Budini, Nicolas; Rinaldi, Pablo Andres; Schmidt, Javier Alejandro; Arce, Roberto Delio; Buitrago, Roman Horacio; Influence of microstructure and hydrogen concentration on amorphous silicon crystallization; Elsevier Science Sa; Thin Solid Films; 518; 18; 7-2010; 5349-5354
dc.identifier.issn 0040-6090
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/11336/25442
dc.description.abstract Hydrogenated amorphous silicon samples were deposited on glass substrates at different temperatures by high 20 frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition. In this way, samples with different hydrogen 21 concentrations and structures were obtained. The transition from an amorphous to a crystalline material, 22 induced by a four-step thermal annealing sequence, has been followed. Effusion of hydrogen fromthe films plays 23 an important role in the nucleation and growth mechanisms of crystalline silicon grains. Measurements of 24 hydrogen concentrations, Raman scattering, X-ray diffraction and UV reflectance showed that an enhanced 25 crystallizationwas obtained on samples deposited at lower substrate temperatures. A correlation between these 26 measurements allowsto analyze the evolution of structuralproperties of the samples. The presence of voids in the 27 material, related to disorder in the amorphous matrix, results in a better quality of the resulting nanocrystalline 28 silicon thin films.
dc.format application/pdf
dc.language.iso eng
dc.publisher Elsevier Science Sa
dc.rights info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
dc.rights.uri https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject POLYCRYSTALLINE SILICON
dc.subject HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON
dc.subject SOLID PHASE CRYSTALLIZATION
dc.subject.classification Otras Ciencias Físicas
dc.subject.classification Ciencias Físicas
dc.subject.classification CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
dc.title Influence of microstructure and hydrogen concentration on amorphous silicon crystallization
dc.type info:eu-repo/semantics/article
dc.type info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated 2017-09-25T18:23:58Z
dc.journal.volume 518
dc.journal.number 18
dc.journal.pagination 5349-5354
dc.journal.pais Países Bajos
dc.journal.ciudad Amsterdam
dc.description.fil Fil: Budini, Nicolas. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.description.fil Fil: Rinaldi, Pablo Andres. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.description.fil Fil: Schmidt, Javier Alejandro. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.description.fil Fil: Arce, Roberto Delio. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.description.fil Fil: Buitrago, Roman Horacio. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.journal.title Thin Solid Films
dc.relation.alternativeid info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2010.04.029
dc.relation.alternativeid info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609010005523


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