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dc.contributor.author
Haberkorn, Nestor Fabian
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dc.contributor.author
Basbus, Juan Felipe
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dc.contributor.author
Suarez, Sergio Gabriel
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dc.contributor.author
Sirena, Martin
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dc.date.available
2023-10-17T13:50:13Z
dc.date.issued
2022-07
dc.identifier.citation
Haberkorn, Nestor Fabian; Basbus, Juan Felipe; Suarez, Sergio Gabriel; Sirena, Martin; Nanoscale electronic inhomogeneity in ZrNx thin films growth by reactive sputtering at room temperature; Springer; Applied Physics A: Materials Science and Processing; 128:; 9; 7-2022; 769-777
dc.identifier.issn
0947-8396
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/215165
dc.description.abstract
We report on the structural and electrical properties of nanocrystalline zirconium nitride films grown by reactive sputtering on Si (100) substrates at room temperature. The samples were grown with a N2/Ar mixture varying the N2 concentration between 8 and 60% of the total atmosphere. The films are nanocrystalline with the coexistence of conducting and insulator phases. The electrical resistivity evolves from ZrN with a metallic state to an insulating rich nitrogen phase, passing through a semiconductor-like behavior as N2 in the mixture increases. A variable-range-hopping regime describes the temperature dependence of the resistivity for mixtures between 30 and 40%. Reactive mixtures of 50 and 60% of N2 give more insulator films. Beyond these macroscopic properties, the films display inhomogeneity electrical properties at the nanoscale with coexistence regions of different conductivity. The inhomogeneities reduce as nitrogen stoichiometry increases and the films become more insulators. Our results are relevant for applications including conducting electrodes and insulator barriers in tunneling devices.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
eng
dc.publisher
Springer
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dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject
ELECTRICAL CONDUCTIVITY
dc.subject
MICROSTRUCTURE
dc.subject
SPUTTERING
dc.subject
THIN FILMS
dc.subject
ZIRCONIUM NITRIDE
dc.subject.classification
Física de los Materiales Condensados
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dc.subject.classification
Ciencias Físicas
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dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
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dc.title
Nanoscale electronic inhomogeneity in ZrNx thin films growth by reactive sputtering at room temperature
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2023-10-12T11:27:38Z
dc.journal.volume
128:
dc.journal.number
9
dc.journal.pagination
769-777
dc.journal.pais
Alemania
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dc.journal.ciudad
Berlin
dc.description.fil
Fil: Haberkorn, Nestor Fabian. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche | Comisión Nacional de Energía Atómica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche; Argentina
dc.description.fil
Fil: Basbus, Juan Felipe. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche | Comisión Nacional de Energía Atómica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche; Argentina
dc.description.fil
Fil: Suarez, Sergio Gabriel. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia del Área de Energía Nuclear. Instituto Balseiro. Archivo Histórico del Centro Atómico Bariloche e Instituto Balseiro | Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro. Archivo Histórico del Centro Atómico Bariloche e Instituto Balseiro; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Patagonia Norte; Argentina
dc.description.fil
Fil: Sirena, Martin. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche | Comisión Nacional de Energía Atómica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche; Argentina
dc.journal.title
Applied Physics A: Materials Science and Processing
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dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://link.springer.com/10.1007/s00339-022-05893-3
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1007/s00339-022-05893-3
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