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dc.contributor.author
Toro Salazar, Cinthya Emma
dc.contributor.author
Lasorsa, Carlos Alberto
dc.contributor.author
Sánchez Aké, Citlali
dc.contributor.author
Villagran Muñiz, Mayo
dc.contributor.author
Rinaldi, Carlos Alberto
dc.date.available
2023-04-25T20:08:02Z
dc.date.issued
2012-11
dc.identifier.citation
Toro Salazar, Cinthya Emma; Lasorsa, Carlos Alberto; Sánchez Aké, Citlali; Villagran Muñiz, Mayo; Rinaldi, Carlos Alberto; New Method for Nanosecond Laser Machining; Japan Laser Processing Soc; Journal Of Laser Micro/nanoengineering; 7; 3; 11-2012; 269-273
dc.identifier.issn
1880-0688
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/195350
dc.description.abstract
The technique of micro-machining assisted by laser is the most recent and flexible process for the design of complex devices. To be able to micro-machine hard materials with precision it is necessary to study the parameters that control and limit the capabilities of this laser process. Several articles have shown that if it applies a lot of energy in a localized area there are hot-affected zones (HAZ), even when a femtosecond laser is used. Hence, the challenge in the laserbased micromachining is to improve the quality of machining, i.e. depleting the HAZ in the prototypes. In this work, changing the optical properties of the substrate, good quality silicon micro-machining has been obtained with a nanosecond Q-switched laser.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
eng
dc.publisher
Japan Laser Processing Soc
dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject
NANOSECOND LASER
dc.subject
SILICON DIOXIDE AND SILICON (100)
dc.subject
SILICON NITRIDE
dc.subject
THIN FILMS
dc.subject.classification
Físico-Química, Ciencia de los Polímeros, Electroquímica
dc.subject.classification
Ciencias Químicas
dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
dc.title
New Method for Nanosecond Laser Machining
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2023-04-21T15:52:08Z
dc.identifier.eissn
1880-0688
dc.journal.volume
7
dc.journal.number
3
dc.journal.pagination
269-273
dc.journal.pais
Japón
dc.journal.ciudad
Osaka
dc.description.fil
Fil: Toro Salazar, Cinthya Emma. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia del Área de Investigación y Aplicaciones No Nucleares. Gerencia Física (Centro Atómico Constituyentes). Proyecto Tandar; Argentina
dc.description.fil
Fil: Lasorsa, Carlos Alberto. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia del Área de Investigación y Aplicaciones No Nucleares. Gerencia Física (Centro Atómico Constituyentes). Proyecto Tandar; Argentina. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo; Argentina
dc.description.fil
Fil: Sánchez Aké, Citlali. Universidad Nacional Autónoma de México; México
dc.description.fil
Fil: Villagran Muñiz, Mayo. Universidad Nacional Autónoma de México; México
dc.description.fil
Fil: Rinaldi, Carlos Alberto. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia del Área de Investigación y Aplicaciones No Nucleares. Gerencia Física (Centro Atómico Constituyentes). Proyecto Tandar; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
dc.journal.title
Journal Of Laser Micro/nanoengineering
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/http://www.jlps.gr.jp/jlmn/archive/07/07_03/
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.2961/jlmn.2012.03.0007
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