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dc.contributor.author
Ogando, Karim
dc.contributor.author
la Forgia, Nicolás
dc.contributor.author
Zárate, Juan José
dc.contributor.author
Pastoriza, Hernan
dc.date.available
2023-03-22T14:26:59Z
dc.date.issued
2012-08
dc.identifier.citation
Ogando, Karim; la Forgia, Nicolás; Zárate, Juan José; Pastoriza, Hernan; Design and characterization of a fully compliant out-of-plane thermal actuator; Elsevier Science SA; Sensors and Actuators A: Physical; 183; 8-2012; 95-100
dc.identifier.issn
0924-4247
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/191402
dc.description.abstract
This paper presents the design and characterization of an out-of-plane thermal actuator. The design optimizes the vertical displacement by concentrating elastic deformations in localized hinges allowing a full thermal expansion of the actuator arms. Heating is provided by Joule dissipation in the actuator itself. A testing device was fabricated using the Memscap PolyMUMPs process. Characterization of the sensor was performed by white light optical profilometry for varying electric biasing and different atmospheres. The presented design has the advantage that the moving direction of the actuator can be determined by the relative location of the hinges.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
eng
dc.publisher
Elsevier Science SA
dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject
SURFACE MICRO-MACHINING
dc.subject
THERMAL ACTUATORS
dc.subject.classification
Otras Ingeniería Mecánica
dc.subject.classification
Ingeniería Mecánica
dc.subject.classification
INGENIERÍAS Y TECNOLOGÍAS
dc.title
Design and characterization of a fully compliant out-of-plane thermal actuator
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2023-02-27T17:44:52Z
dc.journal.volume
183
dc.journal.pagination
95-100
dc.journal.pais
Países Bajos
dc.journal.ciudad
Amsterdam
dc.description.fil
Fil: Ogando, Karim. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche; Argentina
dc.description.fil
Fil: la Forgia, Nicolás. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche; Argentina. Norges Teknisk-naturvitenskapelige Universitet; Noruega
dc.description.fil
Fil: Zárate, Juan José. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche; Argentina
dc.description.fil
Fil: Pastoriza, Hernan. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
dc.journal.title
Sensors and Actuators A: Physical
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0924424712003275
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2012.05.028
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