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dc.contributor.author
Frattini, Giuliano
dc.contributor.author
Torres Cuenza, Sindry Natacha
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dc.contributor.author
Silva, Leonel Ignacio
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dc.contributor.author
Repetto, Carlos Enrique
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dc.contributor.author
Gomez, Bernardo Jose Armando
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dc.contributor.author
Dobry, Ariel Oscar
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dc.date.available
2022-12-28T11:17:06Z
dc.date.issued
2021-05
dc.identifier.citation
Frattini, Giuliano; Torres Cuenza, Sindry Natacha; Silva, Leonel Ignacio; Repetto, Carlos Enrique; Gomez, Bernardo Jose Armando; et al.; The effect of nitriding on the humidity sensing properties of hydrogenated amorphous carbon films; IOP Publishing; Physica Scripta; 96; 5; 5-2021; 1-8
dc.identifier.issn
0031-8949
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/182636
dc.description.abstract
We have studied the effect of nitriding on the humidity sensing properties of hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) films. The films were prepared in two stages combining the techniques of physical deposition in vapor phase evaporation (PAPVD) and plasma pulsed nitriding. By deconvolution of the Raman spectrum we identified two peaks corresponding to the D and G modes characteristic of a-C:H. After the N2-H2 plasma treating, the peaks narrowed and shifted to the right, which we associated with the incorporation of N into the structure. We compared the sensitivity to the relative humidity (RH) of the films before and after the N2-H2 plasma treatment. The nitriding improved the humidity sensitivity measured as the low frequency resistance. By impedance spectroscopy we studied the frequency dependence of the AC conductivity σ at different RH conditions. Before nitriding σ(ω) ∼ Aω s, it seemed to have the universal behaviour seen in other amorphous systems. The humidity changed the overall scale A. After nitriding, the exponent s increased, and became RH dependent. We associated this behaviour to the change of the interaction mechanism between the water molecule and the substrate when the samples were nitriding.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
eng
dc.publisher
IOP Publishing
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dc.rights
info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject
AMORPHOUS CARBON FILMS
dc.subject
ELECTRONIC TRANSPORT IN AMORPHOUS SEMICONDUCTORS
dc.subject
HUMIDITY SENSORS
dc.subject
IMPEDANCE SPECTROSCOPY
dc.subject.classification
Otras Nanotecnología
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dc.subject.classification
Nanotecnología
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dc.subject.classification
INGENIERÍAS Y TECNOLOGÍAS
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dc.title
The effect of nitriding on the humidity sensing properties of hydrogenated amorphous carbon films
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2022-09-20T18:46:58Z
dc.journal.volume
96
dc.journal.number
5
dc.journal.pagination
1-8
dc.journal.pais
Reino Unido
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dc.journal.ciudad
Londres
dc.description.fil
Fil: Frattini, Giuliano. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Rosario. Instituto de Física de Rosario. Universidad Nacional de Rosario. Instituto de Física de Rosario; Argentina
dc.description.fil
Fil: Torres Cuenza, Sindry Natacha. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Rosario. Instituto de Física de Rosario. Universidad Nacional de Rosario. Instituto de Física de Rosario; Argentina
dc.description.fil
Fil: Silva, Leonel Ignacio. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
dc.description.fil
Fil: Repetto, Carlos Enrique. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Rosario. Instituto de Física de Rosario. Universidad Nacional de Rosario. Instituto de Física de Rosario; Argentina
dc.description.fil
Fil: Gomez, Bernardo Jose Armando. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Rosario. Instituto de Física de Rosario. Universidad Nacional de Rosario. Instituto de Física de Rosario; Argentina
dc.description.fil
Fil: Dobry, Ariel Oscar. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Rosario. Instituto de Física de Rosario. Universidad Nacional de Rosario. Instituto de Física de Rosario; Argentina
dc.journal.title
Physica Scripta
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dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1402-4896/abe583
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1088/1402-4896/abe583
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