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dc.contributor.author
Rodríguez, Daniel
dc.contributor.author
Bonaparte, Juan José
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dc.contributor.author
Boggio, Norberto Gabriel
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dc.contributor.author
Fasciszewski Zeballos, Alejandro Miguel
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dc.date.available
2022-12-26T16:52:18Z
dc.date.issued
2019-07
dc.identifier.citation
Rodríguez, Daniel; Bonaparte, Juan José; Boggio, Norberto Gabriel; Fasciszewski Zeballos, Alejandro Miguel; Desarrollo y fabricación de un microsensor de gas de baja potencia para la detección de amoniaco a bajas concentraciones; Universidad Distrital Francisco José de Caldas. Facultad Tecnológica; Tecnura; 23; 61; 7-2019; 23-30
dc.identifier.issn
0123-921X
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/182341
dc.description.abstract
Contexto: En este trabajo se presenta el desarrollo y microfabricación de un sensor de gas cuyo funcionamiento se basa en las variaciones de su conductividad eléctrica en presencia de determinados gases. Para utilizar estos sensores en equipos portátiles, como monitores de gases, se requiere que la potencia utilizada para mantener la película sensible a la temperatura de funcionamiento sea muy baja. Los resultados de este desarrollo permiten contar además con una plataforma para la microfabricación de sensores de gas, sobre la que se pueda incorporar diversos tipos de películas sensoras. Metodología: El microsensor desarrollado está constituido por una película delgada de SnO2 depositada sobre un sustrato de silicio micromaquinado. El diseño propuesto se realizó mediante simulaciones de los comportamientos mecánico y térmico. El procedimiento incluyó operaciones de microfabricación. Posteriormente se realizó la caracterización eléctrica y se ensayó la sensibilidad frente a amoniaco gaseoso. Resultados: La microfabricación se llevó a cabo de forma satisfactoria (no se detallan todos los pasos en el presente trabajo), y se logró una alta tasa de sensores bien conformados por oblea. La caracterización del sensor frente a diferentes concentraciones de amoniaco gaseoso en aire dio como resultado una respuesta lineal para concentraciones entre 6 ppm a 50 ppm, donde este último es el límite permisible de exposición . Conclusiones: Se desarrolló un proceso para fabricar un microsensor de gas de SnO2 de bajo consumo (50 mW). Se llevó a cabo la fabricación de los microsensores de manera satisfactoria, partiendo de simulaciones previas. En relación a trabajos futuros, la plataforma micromaquinada desarrollada, con el calefactor incorporado, permitirá utilizar distintas películas sensoras.
dc.description.abstract
Objective: This paper presents the development and manufacture of a gas microsensor whose operation is based on variations in electrical conductivity in the presence of certain gases. To use these sensors in portable equipment such as gas monitors, the power used to keep the film sensitive to the operating temperature is required to be very low. The results of this development provide with a platform for the manufacture of gas microsensors that allow different types of sensor films can be incorporated. Methodology: The developed microsensor consists of a thin fil of SnO2 deposited on a micro-machined silicon substrate. The proposed design was carried out by simulations of mechanical and thermal behavior. The procedure included microfabrication operations, and then, the electrical characterization was performed and the sensitivity to gaseous ammonia was tested. Results: Microfabrication was carried out satisfactorily (although this work does not detail all the steps of the process), and a high rate of well-formed sensors per sheet was achieved. The behavior of the sensor in the presence of different concentrations of gaseous ammonia in air was characterized and resulted in a linear response for concentrations between 6 ppm to 50 ppm, and the latter is the permissible limit of exposure. Conclusions: A low consumption (50 mW) SnO2 gas microsensor was successfully developed based on previous simulations. In relation to future work, the developed micromachined platform with the built-in heater will allow the use of different sensor films.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
spa
dc.publisher
Universidad Distrital Francisco José de Caldas. Facultad Tecnológica
dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-sa/2.5/ar/
dc.subject
SENSORES DE GAS
dc.subject
PELICULAS DELGADAS
dc.subject
MONITOREO AMBIENTAL
dc.subject
BAJA POTENCIA
dc.subject.classification
Otras Ingenierías y Tecnologías
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dc.subject.classification
Otras Ingenierías y Tecnologías
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dc.subject.classification
INGENIERÍAS Y TECNOLOGÍAS
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dc.title
Desarrollo y fabricación de un microsensor de gas de baja potencia para la detección de amoniaco a bajas concentraciones
dc.title
Development and manufacture of a low power gas microsensor for the detection of ammonia at low concentrations
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2022-12-22T16:04:44Z
dc.identifier.eissn
2248-7638
dc.journal.volume
23
dc.journal.number
61
dc.journal.pagination
23-30
dc.journal.pais
Colombia
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dc.journal.ciudad
Bogotá
dc.description.fil
Fil: Rodríguez, Daniel. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia de Área de Investigación y Aplicaciones no Nucleares. Gerencia de Desarrollo Tecnológico y Proyectos Especiales. Departamento de Micro y Nanotecnología; Argentina
dc.description.fil
Fil: Bonaparte, Juan José. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia de Área de Investigación y Aplicaciones no Nucleares. Gerencia de Desarrollo Tecnológico y Proyectos Especiales. Departamento de Micro y Nanotecnología; Argentina
dc.description.fil
Fil: Boggio, Norberto Gabriel. Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas. Oficina de Coordinacion Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Constituyentes | Comision Nacional de Energia Atomica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Constituyentes.; Argentina
dc.description.fil
Fil: Fasciszewski Zeballos, Alejandro Miguel. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia de Área de Investigación y Aplicaciones no Nucleares. Gerencia de Desarrollo Tecnológico y Proyectos Especiales. Departamento de Micro y Nanotecnología; Argentina
dc.journal.title
Tecnura
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://revistas.udistrital.edu.co/index.php/Tecnura/article/view/15353
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/https://doi.org/10.14483/22487638.15353
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