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Artículo

Topographical and Physicochemical Contrast in Photopatterned SU-8 Films for Microfabrication of Multilayer Structures

Salazar Alarcón, LeonardoIcon ; Martínez, E. D.; Rodríguez, L. M.; Pastoriza, HernanIcon
Fecha de publicación: 05/2016
Editorial: Hindawi Publishing Corporation
Revista: Advances in Materials Science and Engineering
ISSN: 1687-8442
Idioma: Inglés
Tipo de recurso: Artículo publicado
Clasificación temática:
Compuestos; Recubrimientos y Películas; Ingeniería de los Materiales

Resumen

During SU-8 standard photolithography process, a patterned topography is formed with a characteristic height profile produced by the different shrinkage of the UV exposed and masked regions. We study the change of wettability, film solubility, and topographic modifications on SU-8 films of different thicknesses and show its relevance in the formation of spinning-flow arrays on top layers made from positive photoresists. Also, considerable contrast in film solubility and surface energy as observed from contact angle measurements is produced. Interface diffusion of the photoresists was also observed and followed by Rutherford Back Scattering. We discuss the derivations of the mentioned effects concerning the limitations to multilayered microfabrication processes and possibilities to take advantage of the surface profiles obtained.
Palabras clave: Microfabricación , Multicapas , Epoxy , Interdifusión
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info:eu-repo/semantics/openAccess Excepto donde se diga explícitamente, este item se publica bajo la siguiente descripción: Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 2.5 Unported (CC BY-NC-SA 2.5)
Identificadores
URI: http://hdl.handle.net/11336/180091
URL: http://www.hindawi.com/journals/amse/2016/5278102/
DOI: http://dx.doi.org/10.1155/2016/5278102
Colecciones
Articulos(CCT - PATAGONIA NORTE)
Articulos de CTRO.CIENTIFICO TECNOL.CONICET - PATAGONIA NORTE
Citación
Salazar Alarcón, Leonardo; Martínez, E. D.; Rodríguez, L. M.; Pastoriza, Hernan; Topographical and Physicochemical Contrast in Photopatterned SU-8 Films for Microfabrication of Multilayer Structures; Hindawi Publishing Corporation; Advances in Materials Science and Engineering; 2016; 5-2016; 1-8
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