Sensor de SH 2 (gas) construido con películas delgadas nanocritalinas de SnO 2 en multicapas

Abstract

El SnO2, puro y dopado, ha sido utilizado desde hace algunas décadas para fabricar sensores de gases de tipo resistivo. El tema se ha retomado en los últimos años porque el mismo material semiconductor, puro o dopado pero nanocristalino ha sido empleado para construir sensores con ventajas notables. Por ej. la temperatura de operación (Top) de un dispositivo construido con el nanosemiconductor desciende de (350-450) ºC a (180-200) ºC respecto de la del dispositivo construido con el mismo material pero policristalino y convencional y la sensibilidad del segundo aumenta de 30-37% respecto de la del primero. Los autores han construido sensores de gases de alta precisión empleando SnO2 nanocristalino puro y dopado [1, 2] que ya han sido patentados o están en trámite [3]. En este trabajo, se ha sintetizado el SnO2 nanocristalino dopado con CuO para sensar H2S (g) en aire ya que el SnO2 dopado con baja cantidad de (5%p) de CuO resulta un excelente promotor del aumento de la sensibilidad y la selectividad en la detección del H2S (g) [4] a temperaturas cercanas a los 100ºC.