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dc.contributor.author
González Prinz, Melina Belén
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dc.contributor.author
Rozas, Guillermo
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Salazar Alarcon, Leonardo
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Simonetto, Matias
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dc.contributor.author
Bruchhausen, Axel Emerico
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dc.contributor.author
Zampieri, Guillermo Enrique
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dc.contributor.author
Baruj, Alberto Leonardo
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dc.contributor.author
Prado, Fernando Daniel
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dc.contributor.author
Pastoriza, Hernan
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dc.date.available
2021-11-25T16:10:33Z
dc.date.issued
2021-03
dc.identifier.citation
González Prinz, Melina Belén; Rozas, Guillermo; Salazar Alarcon, Leonardo; Simonetto, Matias; Bruchhausen, Axel Emerico; et al.; Comprehensive analysis of the composition determination in epitaxial AlxGa1-xAs films: A multitechnique approach; Elsevier; Materials Science In Semiconductor Processing; 123; 105469; 3-2021; 1-11
dc.identifier.issn
1369-8001
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/147414
dc.description.abstract
We present the determination of aluminum concentration x in epitaxial films of AlxGa1-xAs grown by Molecular Beam Epitaxy (MBE) on GaAs (100) substrates. A large variety of techniques such as quantification of atomic fluxes during MBE growth, high resolution X-ray diffraction (HRXRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS), variable angle spectroscopic ellipsometry (VASE), photoluminescence (PL) and Raman spectroscopy (RS) have been used. Our Raman spectroscopy measurements show inconsistencies when analyzed with previously reported models. We also found variability within the same sample indicating that it is strongly influenced by other parameters like strain. We conclude that Raman spectroscopy can not be used as a reliable characterization technique without taking these effects into consideration. The combined analysis of all the other techniques allows us to reduce the uncertainty for the concentration value of each sample and correlate device specific quantities with the growth control parameters.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
eng
dc.publisher
Elsevier
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dc.rights
info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject
epitaxial semiconductors
dc.subject
Material composition
dc.subject
raman
dc.subject.classification
Física de los Materiales Condensados
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dc.subject.classification
Ciencias Físicas
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dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
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dc.title
Comprehensive analysis of the composition determination in epitaxial AlxGa1-xAs films: A multitechnique approach
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2021-01-18T14:11:50Z
dc.journal.volume
123
dc.journal.number
105469
dc.journal.pagination
1-11
dc.journal.pais
Países Bajos
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dc.journal.ciudad
Amsterdam
dc.description.fil
Fil: González Prinz, Melina Belén. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche | Comisión Nacional de Energía Atómica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche; Argentina
dc.description.fil
Fil: Rozas, Guillermo. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche | Comisión Nacional de Energía Atómica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche; Argentina
dc.description.fil
Fil: Salazar Alarcon, Leonardo. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche | Comisión Nacional de Energía Atómica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche; Argentina
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Fil: Simonetto, Matias. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche | Comisión Nacional de Energía Atómica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche; Argentina
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Fil: Bruchhausen, Axel Emerico. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche | Comisión Nacional de Energía Atómica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche; Argentina
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Fil: Zampieri, Guillermo Enrique. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche | Comisión Nacional de Energía Atómica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche; Argentina
dc.description.fil
Fil: Baruj, Alberto Leonardo. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
dc.description.fil
Fil: Prado, Fernando Daniel. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Bahía Blanca. Instituto de Física del Sur. Universidad Nacional del Sur. Departamento de Física. Instituto de Física del Sur; Argentina
dc.description.fil
Fil: Pastoriza, Hernan. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche | Comisión Nacional de Energía Atómica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnología - Nodo Bariloche; Argentina
dc.journal.title
Materials Science In Semiconductor Processing
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dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S1369800120314037
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2020.105469
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