Intercomparación en Mediciones Superficiales

Abstract

La trazabilidad en mediciones superficiales de micro y nanoestructuras es condición in-eludible para garantizar la calidad en proyectos de innovación, investigación y desarrollo en el espectro disciplinar que abarca las ciencias químicas, biológicas, de materiales, siendo además un requisito para mediciones de rugosidad en la industria. La confiabilidad metro-lógica (ISO 10012) presupone el uso de instrumentos calibrados, patrones trazables, procedimientos de medición validados y balances de incertidumbre. Estos requerimientos no son habituales en microscopía y representa una debilidad a subsanar. En este trabajo se presentan los resultados de la intercomparación de mediciones de textura superficial en patrones 2D y 3D con cuatro tipos de instrumentos: Rugosímetro, Microscopio Confocal, Microscopio de Fuerza Atómica y Microscopio Electrónico de Barrido. Las evaluaciones de conformidad (ISO 17043) mediante la comparación de los errores normalizados (En), que ponderan los efectos sistemáticos y sus incertidumbres, convalidan el uso de los microscopios como instrumentos metrológicos.