Propiedades ópticas de silicio poroso nanoestructurado: Desarrollo de sensores ópticos y fotónicos

Abstract

Se presentan estudios de propiedades ópticas y estructurales de películas delgadas simples y multicapas complejas de silicio poroso nanoestructurado, para aplicaciones directas en el área del sensado de especies químicas y biológicas. Se presentan métodos de caracterización óptica de las películas fabricadas, basados en los ajustes de mediciones de espectros de reflectancia y transmitancia, empleando teorías elementales del electromagnetismo. Se fabricaron sensores fotónicos con multicapas de silicio poroso cuyas respuestas ópticas optimizan el sistema de sensado, otorgando al dispositivo completo una alta sensibildad, con tiempos de respuestas en el orden de los milisegundos. Dentro del campo de la optofluídica, se expone una técnica de medición óptica para interpretar la dinámica de llenado de diferentes líquidos dentro de películas de silicio poroso, que tiene la flexibilidad para funcionar como sensor nanofluídico, y además, la capacidad de caracterizar la morfología de las matrices porosas. Se describe un estudio de la estabilización de películas de silicio poroso mediante el análisis de la cinética de oxidación, utilizando el análisis de factores.