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dc.contributor.author
Bermeo, Diego Fernando
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dc.contributor.author
Della Torre, H.
dc.contributor.author
Kleiman, Ariel Javier
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dc.contributor.author
Minotti, Fernando Oscar
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dc.contributor.author
Marquez, Adriana Beatriz
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dc.date.available
2020-04-21T17:57:37Z
dc.date.issued
2014-05
dc.identifier.citation
Bermeo, Diego Fernando; Della Torre, H.; Kleiman, Ariel Javier; Minotti, Fernando Oscar; Marquez, Adriana Beatriz; Characterization of Titanium Films Deposited with a Cathodic Arc Using a Straight Magnetic Duct; IOP Publishing; Journal of Physics: Conference Series; 511; 5-2014
dc.identifier.issn
1742-6596
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/11336/103204
dc.description.abstract
Nanostructured Ti films were obtained employing a cathodic arc with a straightmagnetic filter. The films were characterized using X-ray diffraction, scanning electron andatomic force microscopy. The films were found to be dense and with columnar grains,whose size increased with the exposure time. The number of macroparticles, the filmroughness and the deposition rate were also analyzed, and the latter compared with theresults of a fluid plasma model. Number of macroparticles and film roughness in sampleslocated ahead of the magnetic duct inlet were higher than those determined fromsamples placed inside the magnetic duct. The deposition rate depended on the axial andradial position inside the duct. The thickness along the radial position was more uniformfor samples located at axial positions near the filter extremes, but the mean depositionrate was lower at these positions. Measured and modeled deposition rates agreed reasonablywell.
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
eng
dc.publisher
IOP Publishing
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dc.rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri
https://creativecommons.org/licenses/by/2.5/ar/
dc.subject
CATHODIC ARC
dc.subject
TITANIUM
dc.subject
MAGNETIC DUCT
dc.subject
PLASMA
dc.subject.classification
Física de los Fluidos y Plasma
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dc.subject.classification
Ciencias Físicas
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dc.subject.classification
CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
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dc.title
Characterization of Titanium Films Deposited with a Cathodic Arc Using a Straight Magnetic Duct
dc.type
info:eu-repo/semantics/article
dc.type
info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated
2020-04-21T15:18:53Z
dc.journal.volume
511
dc.journal.pais
Reino Unido
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dc.description.fil
Fil: Bermeo, Diego Fernando. Universidad Santiago de Cali; Colombia
dc.description.fil
Fil: Della Torre, H.. Universidad del Valle de Mexico; México
dc.description.fil
Fil: Kleiman, Ariel Javier. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Instituto de Física del Plasma. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Instituto de Física del Plasma; Argentina
dc.description.fil
Fil: Minotti, Fernando Oscar. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Instituto de Física del Plasma. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Instituto de Física del Plasma; Argentina
dc.description.fil
Fil: Marquez, Adriana Beatriz. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Instituto de Física del Plasma. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Instituto de Física del Plasma; Argentina
dc.journal.title
Journal of Physics: Conference Series
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1742-6596/511/1/012070
dc.relation.alternativeid
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/511/1/012070
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