Artículo
En este trabajo, se depositaron muestras de silicio microcristalino dopadas con Boro (μc-Si:H (B)) a partir del método de deposición química en fase de vapor asistida por plasma (PECVD), usando silano (SiH4) diluido en hidrógeno, y diborano (B2H6) como gas dopante. La concentración de diborano se varió en el rango entre 0 y 100 ppm. Se realizó un estudio de las propiedades estructurales a partir de la técnica de espectroscopia Raman. Los espectros Raman revelaron un aumento en la fracción de volumen cristalina (Xc) de las muestras a medida que la concentración de Boro aumentaba desde 0 a 75 ppm. Por encima de 75 ppm se encontró que la Xc decrece nuevamente indicando una amorfización en el material. In this work, boron doped microcrystalline silicon films (μc-Si:H (B)) was deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD), using silane (SiH4) diluted in hydrogen, and diborane (B2H6) as a dopant gas. The concentration of B2H6 was varied in the range of 0 – 100 ppm. The structural properties of the films have been investigated by Raman mea-surements. A progressive increase in the crystalline volume fraction for concentrations from 0 to 75 ppm was detected; whereas for boron concentrations above 75 ppm was observed a reduction of XC, which indicates an amorphization of the material.
Fracción de Volumen Cristalina en Muestras de µc-Si Dopadas con Boro Obtenida Mediante Espectroscopia Raman
Fecha de publicación:
01/2009
Editorial:
Sociedad Colombiana de Física
Revista:
Revista Colombiana de Física
ISSN:
0120-2650
Idioma:
Español
Tipo de recurso:
Artículo publicado
Clasificación temática:
Resumen
Palabras clave:
Semiconductores
,
Raman
,
Películas Delgadas
,
Silicio Microcristalino
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Articulos de INST.DE DES.TECNOL.PARA LA IND.QUIMICA (I)
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Citación
Dussan, A.; Schmidt, Javier Alejandro; Fracción de Volumen Cristalina en Muestras de µc-Si Dopadas con Boro Obtenida Mediante Espectroscopia Raman; Sociedad Colombiana de Física; Revista Colombiana de Física; 41; 1; 1-2009; 82-84
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