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dc.contributor.author Koropecki, Roberto Roman
dc.contributor.author Dussan Cuenca, Anderson
dc.contributor.author Schmidt, Javier Alejandro
dc.contributor.author Arce, Roberto Delio
dc.contributor.author Buitrago, Roman Horacio
dc.date.available 2017-11-20T15:33:57Z
dc.date.issued 2004-09
dc.identifier.citation Koropecki, Roberto Roman; Dussan Cuenca, Anderson; Schmidt, Javier Alejandro; Arce, Roberto Delio; Buitrago, Roman Horacio; Variaciones en la conductividad en muestras compensadas de mc-Si:H por efectos de recocido; Asociación Física Argentina; Anales AFA; 15; 9-2004; 194-197
dc.identifier.issn 0327-358X
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/11336/28544
dc.description.abstract Se presenta un estudio de los cambios producidos por recocidos isotérmicos en muestras micro-dopadas de silicio microcristalino (µc-Si:H) con diferentes grados de compensación. Las muestras fueron preparadas por deposición química en fase de vapor asistida por plasma (PECVD) utilizando diborano (B2H6) en fase de gas como dopante. La temperatura de recocido fue de 150°C, más baja que la temperatura de deposición (160°C). Se realizaron mediciones de conductividad a oscuras (σdk) y densidad de estados (DOS) para explorar los efectos de recocido sobre las muestras. Las muestras resultan compensadas para concentraciones entre 50 y 75ppm. Para las muestras con concentraciones menores de boro se observó un suave incremento en la energía de activación (Ea) acompañado de una disminución en la σdk con el aumento del tiempo de recocido acumulado; mientras que en las muestras con concentraciones mayores el efecto es inverso. Se encontró que el cambio en la σdk es más pronunciado en muestras que tienen más altas concentraciones de boro. No se observan cambios debido al recocido en muestras no dopadas. Las modificaciones en la DOS fueron inferidas a partir de mediciones de MPC (fotoconductividad modulada) y CPM (fotocorriente constante). Se propone un modelo que explica las variaciones en σdk basado en la activación de dopantes asistida térmicamente.
dc.format application/pdf
dc.language.iso spa
dc.publisher Asociación Física Argentina
dc.rights info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subject SILICIO MICROCRISTALINO
dc.subject PELICULA DELGADA
dc.subject.classification Astronomía
dc.subject.classification Ciencias Físicas
dc.subject.classification CIENCIAS NATURALES Y EXACTAS
dc.title Variaciones en la conductividad en muestras compensadas de mc-Si:H por efectos de recocido
dc.type info:eu-repo/semantics/article
dc.type info:ar-repo/semantics/artículo
dc.type info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.date.updated 2017-11-16T14:45:28Z
dc.journal.volume 15
dc.journal.pagination 194-197
dc.journal.pais Argentina
dc.description.fil Fil: Koropecki, Roberto Roman. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.description.fil Fil: Dussan Cuenca, Anderson. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.description.fil Fil: Schmidt, Javier Alejandro. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.description.fil Fil: Arce, Roberto Delio. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.description.fil Fil: Buitrago, Roman Horacio. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Santa Fe. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química. Universidad Nacional del Litoral. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química; Argentina
dc.journal.title Anales AFA
dc.relation.alternativeid info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://anales.fisica.org.ar/journal/index.php/analesafa/article/view/545/552


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